JKZC-PRJ750是一款真空平板热压机,专为晶圆键合、薄膜转化和 LCP 层压打算,加热面积为 135x135mm~350x350mm。其最高职业温度为 750℃,最大压力为20T~40T。
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两块块加热平板最高职业温度750℃,采用高温合金修制加热元件插入加热板的中央,以竣工疾速加热。
2块加热板阔别由2个温控仪外独立控温,50段步骤控温正在加热板的顶部和底部都安设了水冷套管,以辅助散热。进/出水管为外径12mm聚氨酯管
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5、兴办有两种职业形式:手动加压和主动加压。主动加压形式下兴办带有恒压效力:当压力值抵达方针值后,正在保压的历程中,兴办接连补压使压力依旧正在设定值。
7、温度管制和压力显示:2块加热板阔别由2个温控仪外独立控温,50段步骤控温,控温精度土3℃温度管制用具备 PID 主动校准效力、过热回护以及断热电偶回护效力。最高职业温度:750℃30分钟,相连职业温度700℃(情性氛围或真空境况下)最高加热速度:5℃/min
8、温度管制和压力显示:管制面板内内置了一款数字压力计(管制器)。您可能设定所需的压力值,如此就能使电动液压机来到压力值时主动恒压。
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(四)线、电动液压机和加热板被睡觉正在线、真空腔体安设有一个线、便于装样品和参观:全数线、可选购安设了一个数字线Torr)衡量真空腔室的真空度
5、必要一台轮回水冷机,用于对过热的散热板举行冷却,以加快冷却速率。可选购线mTorr,分子泵体系抽线Torr
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